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　　潔凈室環(huán)境檢測(cè)是指對(duì)潔凈室內(nèi)的空氣質(zhì)量、微粒污染水平、溫濕度等參數(shù)進(jìn)行測(cè)量和評(píng)估的過(guò)程，確保該環(huán)境滿足特定工業(yè)或科研活動(dòng)的嚴(yán)格標(biāo)準(zhǔn)。潔凈室，也稱為無(wú)塵室，是一個(gè)特別設(shè)計(jì)的封閉空間，其內(nèi)部空氣、懸浮微粒、細(xì)菌和其他污染物被控制在極低的水平。

　　潔凈室環(huán)境監(jiān)測(cè)國(guó)標(biāo)要求及項(xiàng)目?jī)?nèi)容

　　一、依據(jù)國(guó)標(biāo)GB50073-2013《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》，潔凈室檢測(cè)項(xiàng)目標(biāo)準(zhǔn)要求如下：

　　?1)風(fēng)速或風(fēng)量的檢測(cè)

　?。╝）單向流潔凈室：距離高效過(guò)濾器0.3m，間距不大于0.6m，不少于5點(diǎn)，測(cè)風(fēng)速，求平均，算風(fēng)量。

　　（b）非單向流潔凈室：測(cè)風(fēng)量，算換氣次數(shù)。參照GB50243-2016《通風(fēng)與空調(diào)給出施工及驗(yàn)收規(guī)范》

　　2)靜壓差的檢測(cè)

　?。╝）門應(yīng)全部關(guān)閉

　?。╞）壓差計(jì)靈敏度應(yīng)小于1Pa。

　　3)安裝后過(guò)濾器泄漏檢測(cè)

　?。╝）光散射氣浮微粒測(cè)定儀的流量應(yīng)大于1L/min；

　?。╞）顆粒度不小于0.1μm（0.5μm）；顆粒濃度大于3.5×107pc/m3；距離過(guò)濾器表面2～3cm；掃描速度5～20mm/s。

　　（c）對(duì)于高效過(guò)濾器不大于出廠合格穿透率的2倍，對(duì)于超高效過(guò)濾器不大于出廠合格穿透率的3倍。

　　4)不同等級(jí)潔凈室的連通孔洞的風(fēng)速應(yīng)大于0.2m/s。

　　5)潔凈度的檢測(cè)

　?。╝）光散射氣浮微粒測(cè)定儀的流量應(yīng)大于1L/min，并具備有效的標(biāo)定合格證；

　?。╞）采樣點(diǎn)離地0.8m；

　?。╟）每個(gè)采樣點(diǎn)的每次采樣量按ISO14644的要求；

　?。╠）僅有一個(gè)采樣點(diǎn)時(shí)，至少采樣3次。

　　二、依據(jù)國(guó)標(biāo)GB50472-2008《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》，潔凈室（區(qū)）性能測(cè)試項(xiàng)目的標(biāo)準(zhǔn)要求如下：

　　1）風(fēng)速和風(fēng)量的檢測(cè)

　　對(duì)于單向潔凈室，應(yīng)離高效過(guò)濾器300mm。

　　2）靜壓差的檢測(cè)

　　檢測(cè)靜壓差的時(shí)候應(yīng)該關(guān)閉全部門窗。檢測(cè)儀器的靈敏度應(yīng)小于1.0Pa。應(yīng)由里向外按順序檢測(cè)。

　　3）空氣過(guò)濾器安裝后的檢漏

　　微粒儀的流量應(yīng)大于1L/min。應(yīng)在過(guò)濾器的上風(fēng)側(cè)引入不小于0.1μm（或0.5μm）的微粒，其濃度應(yīng)大于3.5×107pc/m3。微粒儀距離濾器表面20～30mm處等速采樣，并以5～20mm/s速度掃描。

　　4）潔凈度的檢測(cè)

　　最少采樣點(diǎn)和每次最少采樣量與ISO14644基本相同。

　　5）溫度和濕度的檢測(cè)

　　檢測(cè)點(diǎn)的覆蓋面積不大于100m2。每個(gè)房間不少于2個(gè)檢測(cè)點(diǎn)。檢測(cè)點(diǎn)應(yīng)取工作高度，距吊頂、墻和地面不少于300mm。

　　6）噪聲的檢測(cè)

　　每100m2設(shè)一個(gè)檢測(cè)點(diǎn)。檢測(cè)點(diǎn)距地面1.1～1.5m,距墻大于3m。

　　7）照度的檢測(cè)

　　檢測(cè)點(diǎn)為工作高度，宜距地面0.85m,每25m2設(shè)一個(gè)檢測(cè)點(diǎn)。